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旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)屬于什么設(shè)備

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發(fā)表于 前天 16:34 | 只看該作者 |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)屬于用于在平面基材上涂布液態(tài)涂料的設(shè)備。

旋轉(zhuǎn)涂布機(jī),也稱為勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)或旋轉(zhuǎn)涂層機(jī),是一種利用旋轉(zhuǎn)離心力將多余的涂液甩離被涂物,從而在工件表面形成薄且均勻的涂層的設(shè)備。這種設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓的表面處理、光阻涂布等流程類工序,以及光學(xué)媒介涂膜、鏡頭底劑及調(diào)光液的涂布等領(lǐng)域。

旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)的工作原理是將基材放置在機(jī)器上,然后通過涂布輥?zhàn)訉⑼苛暇鶆蛲坎荚诨纳?,最后通過旋轉(zhuǎn)基材,使涂料在基材表面形成均勻薄膜的過程。在操作過程中,需要控制勻膠的時間、轉(zhuǎn)速、滴液量以及所用溶液的濃度、粘度來控制成膜的厚度。

此外,旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)的關(guān)鍵元器件通常由專業(yè)公司設(shè)計(jì)并進(jìn)口,整機(jī)裝配和調(diào)試則由國內(nèi)公司完成。這種設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)包括調(diào)速范圍、勻膠時間、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度、電源電壓、電機(jī)功率等。


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